非接觸式Chucking的功能

它使用與Bernoulli方法不同的開(kāi)發(fā)的非接觸吸附技術(shù)。
供應(yīng)壓力和吸力壓力之間的平衡使得無(wú)需接觸和低壓力的工件就可以抓住工件。

非接觸吸附技術(shù)

●穩(wěn)定的飛行特征：支持工件的流體膜的穩(wěn)定性是氣體軸承本身。沒(méi)有振動(dòng)。
●低空氣消耗：空氣供應(yīng)和吸力都可以達(dá)到高效率，從而降低了空氣消耗。
●好的安靜：氣流常慢。沒(méi)有操作噪音，也沒(méi)有灰塵升起。

高精度

●間隙調(diào)整：可以通過(guò)結(jié)合供應(yīng)壓力和吸力壓力來(lái)調(diào)整差距。
●高精度：浮動(dòng)間隙均勻地與吸附表面均勻。工件在高度精確的平面上受支持。

高基本表現(xiàn)

●低壓力：整個(gè)工件都由流體膜支撐。保留是統(tǒng)一的。它不會(huì)強(qiáng)調(diào)工作。
●強(qiáng)烈的握力：盡管它是非接觸的，但它提供了與真空吸力杯相當(dāng)?shù)淖サ亓Α?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>●清潔：沒(méi)有與工件接觸。滲透多孔體的液體干凈。

非接觸式chuck的概述

流體靜態(tài)的穩(wěn)定傾斜特征和真空吸力的預(yù)壓效應(yīng)可實(shí)現(xiàn)低壓力和強(qiáng)大的抓地力。

吹掃 +真空=非接觸式chuck！

崛起如何運(yùn)作

非接觸式Chucking基于使用碳多孔體的靜壓氣體軸承的技術(shù)。所提供的壓力流過(guò)多孔體，并均勻地從整個(gè)軸承表面流出。工件從軸承表面上升起，并帶有較小的間隙，從而使其變得流暢。

非接觸的工作方式

在非接觸式旋轉(zhuǎn)中，在氣體軸承的軸承表面上提供了微孔，并連接真空源以吸收它。浮動(dòng)的力和吸附的力是同時(shí)在同一平面上產(chǎn)生并保持平衡的，從而產(chǎn)生了非接觸的吸附狀態(tài)。目前，吸附力創(chuàng)造了凝固流體膜的效果，從而提高了工件的穩(wěn)定性。

高精度的工作方式

該工件一直處于非接觸式吸附狀態(tài)，由流體膜均勻地支撐而沒(méi)有不均勻的負(fù)載，并且在保持恒定間隙的同時(shí)，它遵循軸承表面，形成精確的平面。工件保持在無(wú)壓力，自然狀態(tài)，不會(huì)在高度方向上引起位移或振動(dòng)。

非接觸式視頻

●演示

●φ200mm晶圓處理

應(yīng)用的示例

硅晶圓 chuck桌	硅晶圓 材料處理末端效應(yīng)器	玻璃板檢查臺(tái)
φ200mm兼容	φ200mm兼容	500x400mm
φ300mm兼容	φ300mm兼容	-

產(chǎn)品規(guī)格